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螺杆真空泵
螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中?种较为理想的真空泵。它能提供清洁的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的工业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
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